Entwicklung neuer Lithographietechniken für die Nanometerskala basierend auf der Selbstorganisation dünner anorganisch-polymerer Hybridfilme

• Antragsteller: Professor Dr. Martin Möller
• Fachliche Zuordnung: Präparative und Physikalische Chemie von Polymeren
• Förderung: Förderung von 1999 bis 2002
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5164684

Mizellare Blockcopolymer-Filme, welche mit unterschiedlichen Übergangsmetallverbindungen beladen sind, werden für die Ausbildung nanoskopischer Oberflächenstrukturen von anorganischen Festkörpern eingesetzt. Der chemisch orientierte Aufgabenblock betrifft die Entwicklung geeigneter linearer und sternförmiger binärer Blockcopolymere. Anforderungen an diese Verbindungen sind, daß sie in organischer oder auch in wäßriger Lösung kugelförmige und zylindrische Mizellen bilden. Weiterhin sollen neue Konzepte zur Ausbildung solcher Zylindermizellen auf der Basis von Miktoarm und Vergina-Sterncopolymere entwickelt werden. Der zweite Bereich betrifft Untersuchungen zur Ausbildung mizellelarer Filme und ihrer Beeinflussung durch Substrat-Rauheit oder weiterer organischer Zwischenschichten sowie die Strukturierung bzw. Dekorierung der Substrate. Dabei werden neben Punktmuster auch makroskopisch ausgerichtete Linienmuster angestrebt, die durch Ausrichtung von Zylindermizellen in äußeren Feldern und/oder durch lithographische Vorstrukturierung der Substrate erfolgen soll. Schließlich geht es in diesem Bereich noch um Untersuchungen zur unerwartet hohen thermischen Stabilität von Au-Nanoinseln, die mit Hilfe der thermischen Desorptionsspektroskopie in situ unter UHV-Bedingungen durchgeführt werden mit der Möglichkeit, dabei die jeweilige InselAnordnungen und -Größe mittels STM zu kontrollieren.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Beteiligte Personen: Professor Dr. Joachim P. Spatz; Professor Dr. Paul Ziemann