Anwendungsspezifischer Einsatz von 3D-Replikationstechniken

• Antragsteller: Professor Dr. Reiner Mehnert
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 1999 bis 2004
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5466172

UV-Molding und Heißprägen, beides Verfahren zur Hochdurchsatz-Erzeugung bzw. Replikation von 3D-Mikro- und Nanostrukturen, wurden bisher vom Antragsteller in ihren grundlegenden Charakteristiken untersucht. Im Fokus weiterer Arbeiten soll neben einer anwendungsorientierten Bearbeitung auch weiterhin die Lokalisierung grundlegender wissenschaftlicher Fragestellungen stehen. Für das UV-Molding (IOM) ist vorgesehen, die bestehenden Limitationen des Verfahrens abzubauen und in Richtung eines kontinuierlich arbeitenden Prozesses weiterzuentwickeln. Dabei ergibt sich die wis-senschaftliche Herausforderung aus der Ausrichtung auf eine Bearbeitung größerer Flächen und eine Anpassung der Materialeigenschaften entsprechend des zukünftigen Anwendungsprofils. Als De-monstrationsobjekt ist die Herstellung oberflächenstrukturierter Beschichtungen auf flexiblen Substraten vorgesehen. Eine am IOM vorhandene Pilotanlage zur UV/EB-Härtung gegen einen Prägezylinder ist entsprechend zu modifizieren. Beim Heißprägen (UW) ist vorgesehen, in enger Zusammenarbeit mit Teilprojekt 2 (Grautonlithographie und Proportionaltransfer) und Teilprojekt 7 (Laserspezialbauelemente) konkrete anwendungsspezifische Fragestellungen zu bearbeiten, die bei der Herstellung von diffraktiven bzw. refraktiven Optiken für die Laserauskopplung auftreten. Die Erprobung des Heißprägens an einem entsprechenden Demonstrator-Bauelement ist eine Herausforderung und sehen wir als Synergieeffekt der genannten Teilprojekte. Bei der Abformung von hinterschnittenen Strukturen für z.B. mikromechanische Steckverbindungen hingegen stehen eher grundlegende Fragestellungen im Vordergrund, da bisher kaum Erfahrungen und Veröffentlichungen zu diesem Thema verfügbar sind.

• DFG-Verfahren: Forschungsgruppen
• Teilprojekt zu: FOR 365: Teilchenstrahlen-stimulierte Ultrapräzisions-Oberflächenbearbeitung
• Beteiligte Person: Professorin Dr.-Ing. Hella-Christin Scheer