Spannungsbeeinflussung in c-BN-Schichten durch Strukturmodifizierung des Interfacebereiches h-BN/c-BN mittels gezielter Beimengungen

• Antragsteller: Professor Dr. Frank Richter (†)
• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung von 1999 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5214366

Im Projekt soll untersucht werden, wie sich der Einbau bestimmter Fremdatome auf die Realstruktur der Schichten, insbesondere auf die Größe der ungestreßten Gitterkonstanten auswirkt. Zur Einbringung der Fremdatome soll einmal der Arbeitsgaseinbau während des Sputterns ausgenutzt werden, zum anderen sollen während des Wachstumsprozesses in geeigneter Weise homologe Beimengungen (bevorzugt Al, Ga und As) zugesetzt werden.Eine wichtige praktische Zielsetzung des Vorhabens ist es, Möglichkeiten für eine gezielte Beeinflussung der Gitterkonstanten zu finden und diese zum Abbau der typischen starken Druckspannungen und damit zur Haftungsverbesserung auszunutzen.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen