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Projekt
Lithografie-Nanotools (A 3)
Fachliche Zuordnung
Mikrosysteme
Förderung
Förderung von 2002 bis 2005
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5485337
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche
Teilprojekt zu
SFB 622:
Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
Antragstellende Institution
Technische Universität Ilmenau
Teilprojektleiter
Professor Dr.-Ing. Theodor Doll; Privatdozent Dr.-Ing. Frank Schwierz
