Neue multiskalige Mess-, Steuer- und Prüfstrategien für die Prüfung von Mikro- und Nanosystemen in Produktion

• Antragsteller: Professor Dr. Wolfgang Osten; Professor Dr.-Ing. Oliver Sawodny; Professor Dr.-Ing. Engelbert Westkämper
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2004 bis 2011
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5436604

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1159: Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen