Neue multiskalige Mess-, Steuer- und Prüfstrategien für die Prüfung von Mikro- und Nanosystemen in Produktion

• Applicants: Professor Dr. Wolfgang Osten; Professor Dr.-Ing. Oliver Sawodny; Professor Dr.-Ing. Engelbert Westkämper
• Subject Area: Microsystems
• Term: from 2004 to 2011
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5436604

No abstract available

• DFG Programme: Priority Programmes
• Subproject of: SPP 1159: New Strategies for Measurement and Test Techniques for Production of Microsystems and Nanostructures