Hartmagnetische Fe-Pt Schichten für mikroelektromechanische Systeme hergestellt mittels elektrochemischer Deposition

• Applicant: Privatdozent Dr. Sebastian Fähler
• Subject Area: Metallurgical, Thermal and Thermomechanical Treatment of Materials
• Term: from 2005 to 2008
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5442518

Die zunehmende Miniaturisierung von mikroelektromechanischen Systemen erfordert neue, verbesserte Werkstoffe. Bei bisherigen elektromechanischen Systemen wurden die hartmagnetischen Komponenten durch das verlustbehaftete Dünnen von massiven Permanentmagneten hergestellt. In den nächsten Jahren werden jedoch Abmessungen im µm-Bereich erwartet, bei denen die Strukturierung von dicken Schichten ökonomischer sein wird. Bei kleiner werdenden Abmessungen treten gleichzeitig die Materialkosten gegenüber den Prozesskosten in den Hintergrund, so dass auch die FePt-Legierung in Betracht kommt. Insbesondere mit der Elektrodeposition kann diese ohne größere Materialverluste effizient deponiert werden. In den Vorarbeiten konnten erstmals isotrope FePt-Schichten mit einem Koerzitivfeld von 1,1 T mittels Elektrodeposition hergestellt werden. Daran anschließend sollen im Rahmen dieses Projektes die hartmagnetischen Eigenschaften solcher elektrochemisch hergestellter Schichten durch Austauschkopplung und Texturierung entscheidend verbessert werden.

• DFG Programme: Research Grants
• Participating Person: Dr. Heike Schlörb