Reaktive-Ionen-Ätzanlage mit ICP-Quelle

• Subject Area: Optics, Quantum Optics and Physics of Atoms, Molecules and Plasmas
• Term: from 2007 to 2008
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 54555282

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• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 5180 Elektronen- und Ionenstrahl-Quellen und -Bearbeitungsgeräte
• Applicant Institution: Universität Stuttgart
• Leader: Professor Dr. Wolfgang Osten