Reaktive-Ionen-Ätzanlage mit ICP-Quelle

• Fachliche Zuordnung: Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
• Förderung: Förderung von 2007 bis 2008
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 54555282

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5180 Elektronen- und Ionenstrahl-Quellen und -Bearbeitungsgeräte
• Antragstellende Institution: Universität Stuttgart
• Leiter: Professor Dr. Wolfgang Osten