Schrittweise Strukturentwicklung gedruckter Halbleiter: Von ex-situ- zu komplexen in-situ-Studien (S03)

• Fachliche Zuordnung: Physikalische Chemie von Festkörpern und Oberflächen, Materialcharakterisierung
• Förderung: Förderung seit 2025
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 538767711

Projekt S3 (Unruh) verwendet Röntgenstreutechniken, um lateral und tiefenaufgelöste Strukturinformationen, mechanistische Erkenntnisse und kinetische Informationen zu Selbstordnungsphänomenen zu liefern, die an der fest-flüssig-Grenzfläche während der Bildung molekularer Monolagen (mit F6) und Feststoffe (mit C1, C3, C4, F1, F2, F3, F5) auftreten. Die Auswirkungen der Substratauswahl und der Prozessparameter auf die Morphologie und Kristallinität des Feststoffes werden durch In-situ-Untersuchung während der sALD in einer Flüssigkeitsdurchflusszelle beobachtet. Die Interpretation der Elektronendichtedaten erfordert Modellierung (M3, M4, M5) und Ergänzung durch weitere Untersuchungsmethoden (C6, S1, S2, S4), um Erkenntnisse über Epitaxie und laterale Ordnung zu liefern.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 1719: ChemPrint -- Gedruckte Halbleiter der nächsten Generation: Ingenieurskunst auf atomarer Ebene mittels molekularer Oberflächenchemie
• Antragstellende Institution: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
• Teilprojektleiter: Professor Dr. Tobias Unruh, seit 7/2025