Recycelbare optoelektronische Geräte durch reversible Abscheidung und Entfernung von Funktionsschichten mit atomarer Präzision (F06)

• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik ; Festkörper- und Oberflächenchemie, Materialsynthese
• Förderung: Förderung seit 2025
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 538767711

Projekt F6 befasst sich mit dem Recycling von Halbleitern in Beuelementen mittels der Nutzung neuartiger sALD-Techniken (mit C1, F4), um Schichten mit atomarer Präzision abzuscheiden und dann wieder zu entfernen. Dabei kommen in C3 entwickelte Werkzeuge zum Einsatz. Die Abscheidungs- und Entfernungstechniken sind besonders relevant für dünne Grenzflächenschichten, die zur Passivierung oder Substratauswahl verwendet werden. Darüber hinaus werden solche Techniken für alle Anwendungen von großer Bedeutung sein, bei denen sehr dünne Schichten aus entweder toxischen oder wertvollen Materialien verwendet werden. Wir werden die wirtschaftlichen und Nachhaltigkeitsauswirkungen untersuchen, indem wir Material-, Energie- und Kapitalflüsse verfolgen, um die Randbedingungen für die industrielle Relevanz eines solchen Prozesses festzulegen.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 1719: ChemPrint -- Gedruckte Halbleiter der nächsten Generation: Ingenieurskunst auf atomarer Ebene mittels molekularer Oberflächenchemie
• Antragstellende Institution: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
• Teilprojektleiter: Dr. Ian Marius Peters, seit 7/2025