Laser Doppler Vibrometer (VIB)

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung in 2026
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 568740385

Das Laser-Doppler-Vibrometer (VIB) ermöglicht eine ganzheitliche, breitbandige Echtzeitanalyse von mikroelektromechanischen Sensoren und Aktoren (MEMS), anderen beweglichen Mikrostrukturen und biologischen Proben. Die Schwingungen, sowohl außerhalb der Ebene als auch in der Ebene, werden hochauflösend und softwaregesteuert aufgezeichnet und als integrierter Datensatz ausgewertet. Die für Laservibrometer typische Amplitudenauflösung im Sub-Picometer-Bereich wird unabhängig von der Schwingungsrichtung erreicht. Das Messgerät erlaubt eine Analyse des dynamischen Verhaltens der Mikrostrukturen im Zeit- und Frequenzbereich. Ein Weißlicht-Interferometer für die hochpräzise (Sub-Pikometer-Bereich) Oberflächenprofilometrie von statischen Mikrostrukturen mit hoher lateraler Auflösung ist ebenfalls enthalten, was ein noch breiteres Anwendungsspektrum bietet. Eingebettet ist das Gerät in das Zentrale Elektronik- und Informationstechnologielabor (ZEITlab) der Technischen Universität München (TUM). Das ZEITlab ist eine Organisationseinheit der School of Computation, Information and Technology (SoCIT). Seit dem Jahr 2022 ist es im neuen Gebäude der Elektro- und Informationstechnik der TUM auf dem Campus Garching untergebracht. Das Zentrum besteht aus einem Reinraum mit einer Fläche von 950 m² und zugehörigen Charakterisierungslaboren. Seine Vision ist die Etablierung eines "Makerspace für Mikroelektronik-Prototypen“, der als breit aufgestelltes Technologiezentrum der SoCIT eine Vielzahl von Forschungsbereichen unterstützt. Im ZEITlab werden Proof-of-Concept-Demonstratoren im Bereich Elektronik und Sensorik auf der Basis moderner Materialien und Komponenten realisiert und für verschiedene Anwendungsfelder bereitgestellt. Diese Art des „Rapid Prototyping“ nutzt innovative Verarbeitungs- und Charakterisierungstechnologien und wird systematisch durch Schaltungsdesign und Modellierung ergänzt. Das ZEITlab stellt einer Vielzahl von Forschungsgruppen, die sich mit Themen wie Quanten- und Sensortechnologien, Mikro-, Opto- und Neuroelektronik sowie hybriden Nanosystemen beschäftigen, einen zentralen und gemeinsamen Zugang zur Mikro- und Nanofabrikation zur Verfügung. Die gebündelte Infrastruktur ermöglicht demzufolge einen effizienten Transfer von Technologien aus der Grundlagenforschung zu ingenieurtechnischen Fragestellungen und Anwendungen.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Laser Doppler Vibrometer
• Antragstellende Institution: Technische Universität München (TUM)
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Markus Becherer