PECVD-Beschichtungsanlage

• Fachliche Zuordnung: Systemtechnik
• Förderung: Förderung seit 2025
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 569152579

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: PECVD-Beschichtungsanlage
• Gerätegruppe: 0920 Atom- und Molekularstrahl-Apparaturen
• Antragstellende Institution: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Thomas Stieglitz