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Projekt
Halbautomatische modulare Probestation mit Parameter-Analyzer
Fachliche Zuordnung
Elektrotechnik und Informationstechnik
Förderung
Förderung seit 2025
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 575378950
Die Realisierung und konsequente Weiterentwicklung der funktionellen Geräte- und Systemforschung an der Universität Siegen erfordert eine flexible und intelligent automatisierte messtechnische Infrastruktur, die intuitiv bedienbar ist und gleichzeitig einer breiten Nutzergruppe für interdisziplinäre Forschungszwecke zur Verfügung steht. Die für diese Anwendung relevanten Forschungsbereiche – Sensortechnik, Materialwissenschaften, Mikro- und Nanochemie – konzentrieren sich auf die Untersuchung einer Vielzahl von Geräten und Systemen, darunter elektronische/memristive/optische/biochemische Sensoren, elektronische Ultrahochfrequenzgeräte sowie die grundlegende Untersuchung neuartiger physikalischer Phänomene. Die physikalische Erfassung von Signalen aus den internen Nodes eines Geräts und von Chips ermöglicht die Erforschung vielfältiger physikalischer Wechselwirkungen, eröffnet neue Potenziale und Anwendungen für Nanomaterialien und ermöglicht die Realisierung integrierter optischer Schaltungen für Sensoren und Kommunikationstechnologien der nächsten Generation. Die modulare, flexible und automatisierte High-End-Probenstation mit einem Parameteranalyzer, die in diesem Antrag zum Einsatz kommt, ermöglicht Forschern sowohl manuelle als auch automatisierte Fernsteuerungscharakterisierungen mit elektrischer und photonischer Anregung. Modulare Prüfoptionen werden verfügbar sein, um eine schnelle, automatisierte und vielseitige DC-, RF-, optische und mm-Wellen-Prüfung von kleinen Proben bis zu 6-Zoll-Wafern zu ermöglichen. Das System wird darüber hinaus eine präzise kalibrierte fasergekoppelte optische Anregung unter Verwendung verschiedener Lichtquellen ermöglichen. Das Probenstation wird in einer temperaturstabilisierten Reinraumumgebung (ISO-4) betrieben, um maximale Wiederholbarkeit und Genauigkeit der Probenuntersuchung ohne temperaturbedingte mechanische und materialspezifische Abweichungen zu gewährleisten. Dieses Instrument wird im Interdisziplinären Forschungszentrum für Nanoanalytik, Nanochemie und cyber-physikalische Sensortechnologie (Hook-Up 08/2025) betrieben. Wir werden die Forschungsinfrastruktur und -ausstattung der interdisziplinären Nutzergemeinschaft zur Verfügung stellen. Darüber hinaus wird dies auch mit anderen DFG-geförderten Core Facilities geschehen, basierend auf dem erfolgreich umgesetzten Beispiel der Micro- and Nanoanalytics Facility (MNaF) in Siegen. Die unmittelbare räumliche Nähe zwischen Geräten und Experten der Nanotechnologie und Nanoanalytik wird den systematischen Ausbau der Spitzenforschung zu nanoskaligen Strukturen und Bauelementen ermöglichen.
DFG-Verfahren
Forschungsgroßgeräte
Großgeräte
Halbautomatische modulare Probestation mit Parameter-Analyzer
Gerätegruppe
2780 Spezielle Meß- und Prüfgeräte für Halbleiter und Röhren (außer 620-659)
Antragstellende Institution
Universität Siegen
