Erneuerung einer UHV-Aufdampfanlage

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung seit 2026
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 584948828

Seit seiner Gründung im Jahr 1988 beschäftigt sich der Lehrstuhl für Halbleitertechnologie mit der konzeptionellen Entwicklung sowie der technologischen Realisierung neuartiger elektronischer und optoelektronischer Bauelemente auf der Basis von III/V-Verbindungshalbleitern. Die Metallisierung aller Bauelemente erfolgt dabei in einer Ultrahochvakuum (UHV) Aufdampfanlage, die noch aus der Grundausstattung stammt und trotz ihres Alters praktisch täglich genutzt wird. Diese Anlage weist einige Besonderheiten auf, die sie für den Lehrstuhl schwer ersetzbar machen:• Möglichkeit zur Verkippung und Rotation der Proben (ideal für Kantenbedeckungen), • Ultrahochvakuum-Anlage inkl. Kühlung mit LN2 (niedriger Basisdruck), • Schleusenkammer für hohen Probendurchsatz. Mittlerweile häufen sich aber die Ausfälle des Elektronenstahlverdampfers, weswegen das Gesamtsystem überholt werden soll. Zentrales Element dieses Antrags ist die Erneuerung des Elektronenstahlverdampfers inklusive der entsprechenden Stromversorgung, sowie der Software zur Steuerung der Prozessabläufe. Darüber hinaus müssen die Getter-Elemente der in die Vakuumkammer integrierten Ionengetterpumpen (einzige Pumpen der Depositionskammer) überholt und deren Ansteuerung erneuert werden. Abschließend sollten auch die Motoren der Rotations- und Verkippungseinheit ausgetauscht werden. Damit wäre die Anlage dann bestens gerüstet, um für viele weitere Jahre ihren Dienst zu tun.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Erneuerung einer UHV-Aufdampfanlage
• Gerätegruppe: 0920 Atom- und Molekularstrahl-Apparaturen
• Antragstellende Institution: Technische Universität München
• Leiter: Professor Mikhail Belkin, Ph.D.