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FIB/REM (SALVE II)

Fachliche Zuordnung Materialwissenschaft
Förderung Förderung in 2009
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 89249472
 
Erstellungsjahr 2017

Zusammenfassung der Projektergebnisse

Das FIB/REM-System wurde im Rahmen des Großprojektes SALVE (sub-Angstrom low voltage electron microscopy) angeschafft. Haupteinsatzaufgabe waren die Erstellung dünnster TEM-Lamellen von klassischen Materialien weil Halbleiterschichtsysteme, Keramiken, Metalle zu nachfolgenden Untersuchung im SALVE-TEM. Das Gerät konnte nach Inbetriebnahme im April 2010 bereits sehr schnell zur Präparation von TEM-Lamellen eingesetzt werden. Im Rahmen der Arbeiten des DFG-Projektes wurde ein neuartiger Probenhalter zur Erstellung von TEM-Lamellen innerhalb eines FIB/REM entwickelt und zum Patent angemeldet, die Methode wurde unter anderem in einem Projekt DFG-Projekt anhand der Präparation von Nickelatstrukturen getestet. Inzwischen erfolgten auch Patentvergaben für die EU, USA, Japan und China. Die entsprechende Methode (X2-Holder genannt) wurde nach der Patentierung auch in Fachzeitschriften beschrieben und von uns weiterentwickelt, um auch die Nachbearbeitung der TEM-Lamellen in anderen Systemen zu ermöglichen. Die weitere wichtige Anwendung (neben der TEM-Lamellen-Präparation) des FIB/REMs liegt in der drei-dimensionalen Charakterisierung von Proben mittels Tomographie. Hier werden durch Schneiden mittels Ionenstrahl und nachfolgendem Bildeinzug mit dem Elektronenstrahl Schnittbilder erstellt, die eine 3D-Rekonstruktion ermöglicht. Wesentliche Forschungsergebnisse wurden in dem BMBF-Projekten „LuLi – effiziente und sichere Li-Batterien“ und „Li-EcoSafe – effiziente und sichere Li-Batterien“ erzielt und in entsprechenden Veröffentlichungen in Fachzeitschriften dargestellt.

Projektbezogene Publikationen (Auswahl)

 
 

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