FIB/REM (SALVE II)

• Subject Area: Materials Science
• Term: Funded in 2009
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 89249472

Das Projektziel des SALVE (Sub-Angström Low Voltage Electron Microscopy) Paketes ist die atomar aufgelöste Untersuchung strahlempfindlicher Materialien von definiert auszuwählenden Probenbereichen. Elektronentransparenz erfordert bei Abbildung mit niederenergetischen Elektronen (geplant 30-60 kV) extrem dünne, nur wenige Nanometer dicke TEM Proben. Mit traditionellen Methoden ist dieses nicht erreichbar. Mit dem zu beschaffenden FIB/REM als Teil des Paketantrages SALVE und der geplanten Modifizierung werden wir Neuland auf dem Gebiet der Probenpräparation für atomar aufgelöste Niederenergie-TEM betreten. Mit dem Gerät sollen neuartige Methoden und Vorschriften erarbeitet werden, um dünnste Proben strahlempfindlicher Materialien ohne Amorphisierung oder Substratartefakte mit dem Ga-Strahl und durch eine zusätzlich zu integrierende Ar/Xe-Ionenkanone zielgenau herzustellen. Die gleichzeitige Beobachtung mit dem Elektronenstrahl ermöglicht die genaue Überwachung des Probenabtrages. Ebenso sollen die neue Technik zur Herstellung, Strukturierung und Modifizierung von Templatstrukturen eingesetzt werden (z.B. Oberflächen und dünnste Filme aus Au, SiO2, Si3N4 , BN oder Graphene). Speziell die Verknüpfung der in Ulm im Rahmen des SFB 569 entwickelten mizellaren und kolloidalen 2D-Nanomasken mit der FIB Technologie lassen die Herstellung auch von 3-dimensionalen Strukturen realistisch erscheinen.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Applicant Institution: Universität Ulm
• Leader: Professorin Dr. Ute Kaiser