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Institution
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
Department Elektrotechnik-Elektronik-Informationstechnik
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Address
Cauerstraße 6
91058 Erlangen
Deutschland
GERiT
This institution in GERiT
91058 Erlangen
Projects
Research Grants
Current projects
Quantum Imaging of Living Tissues with Magnetic Nanoparticles – An Interdisciplinary Novel Approach
(Applicants
Nagy, Roland
;
Schneider-Stock, Regine
;
Tietze, Rainer
)
Silicon Carbide Qubits towards a Fab-Ready Technology
(Applicant
Förthner, Julietta Miriam
)
Completed projects
Atomic layer deposition of dopant source layers for semiconductor doping - Characterization and modelling of drive-in processes
(Applicants
Kalkofen, Bodo
;
Pichler, Peter
)
Aufbau einer mit Reaktivgas gefüllten, hochgenauen Atomresonanzzelle mittels Ionenimplantation
(Applicants
Ryssel, Heiner
;
Seidel, Helmut
)
Bragg gratings based on hybrid polymers for analytical sensor technologies
(Applicants
Frey, Lothar
;
Hellmann, Ralf
)
Charakterisierung von strukturierten Materialien der Halbleitertechnologie mittels aperturloser Streulicht-Rasternahfeldmikroskopie
(Applicant
Kazantsev, Dmitry
)
Charge compensation in 4H silicon carbide - Simulation, modelling and experimental verification
(Applicant
Erlbacher, Tobias
)
Distribution, Segregation and Dose-loss of Dopants in Deca-nanometer SOI Structures
(Applicant
Ryssel, Heiner
)
Experimentelle Bestimmung der thermodynamischen und kinetischen Eigenschaften von Gitterleerstellen in Silicium
(Applicant
Ryssel, Heiner
)
Experimentelle Demonstration eines bipolaren Hochspannungsschalters mit beidseitig gesteuerten Emitterstrukturen
(Applicant
Stoisiek, Michael
)
Investigation of activation and diffusion properties of boron in polycrystalline SiGe-gate electrodes for MOS-devices
(Applicant
Ryssel, Heiner
)
Räumliche Winkelverteilung von gesputterten und rückgestreuten Atomen bei der Ionenbestrahlung unter streifenden Winkeln
(Applicant
Ryssel, Heiner
)
Solution-Processed Silicon Thin Films and Electron Devices from Polysilane Precursors
(Applicants
Frey, Lothar
;
Kroke, Edwin
)
Untersuchung des Aktivierungs- und Diffusionsverhaltens von Bor in polykristallinen SiGe-Gate-Elektroden für MOS-Transistoren
(Applicant
Eisele, Ignaz
)
Priority Programmes
Completed projects
CVD-Prozesse mit neuartigen metallorganischen Precursoren zur Herstellung von hoch-Epsilon Gatedielektrika und metallischen Gatelektroden zukünftiger CMOS-Generation
(Applicant
Ryssel, Heiner
)
CVD-Prozesse mit neuartigen metallorganischen Precursoren zur Herstellung von hoch-Epsilon Gatedielektrika und metallischen Gatelektroden zukünftiger CMOS-Generation
(Applicant
Herrmann, Wolfgang A.
)
Experimentelle Demonstration eines bipolaren Hochspannungsschalters mit beidseitig gesteuerten Emitterstrukturen
(Applicant
Stoisiek, Michael
)
Modellierung und Simulation der Diffusion von Aluminium in Silicium
(Applicant
Ryssel, Heiner
)
Precursorchemie von HfN, TaN, WNx und ähnlichen Metallnitriden in MOCVD und ALD-Prozessen für Gate-Metallisierungs- und Diffusions-Grenzschichten für CMOS-Bauteile
(Applicant
Fischer, Roland A.
)
Research Units
Completed projects
Crystal Growth of nitride single crystals of high purity with the ammonothermal method
(Applicant
Meissner, Elke
)
Untersuchung von p-dotierten Schichten zur Bauelementeisolation
(Applicant
Frey, Lothar
)
Independent Junior Research Groups
Current projects
Novel nitride materials for electronic devices
(Applicant
Schimmel, Saskia
)
Collaborative Research Centres
Completed projects
Integrierbare Bauelemente zur Erhöhung der Betriebssicherheit elektronischer Systemkomponenten im Automobil
(Project Heads
Frey, Lothar
;
Ryssel, Heiner
)
Motorintegrierte Leistungselektronik: Strukturflexibel mechatronisch integrierbare passive elektronische Bauelemente
(Project Heads
März, Martin
;
Ryssel, Heiner
)
Major Research Instrumentation
Completed projects
Halbautomatischer 200 mm-Messplatz zur Charakterisierung von Bauelementen und Halbleiterscheiben
Ofensystem zur Oxidation und Ausheilung von Halbleiterbauelementen
Setup for Quantum Sensing with color defects in solids
Research Training Groups
Completed projects
GRK 1161: Disperse Systems for Electronic Applications
(Spokesperson
Peukert, Wolfgang
)
GRK 1896: In Situ Microscopy with Electrons, X-Rays and Scanning Probes
(Spokesperson
Spiecker, Erdmann
)
Graduate Schools
Completed projects
GSC 80: Erlangen Graduate School in Advanced Optical Technologies (SOAT)
(Spokesperson
Schmidt, Michael
)
Clusters of Excellence
Completed projects
EXC 315: Engineering of Advanced Materials - Hierarchical Structure Formation for Functional Devices
(Spokesperson
Peukert, Wolfgang
)
Additional Information
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