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Institution
Technische Hochschule Wildau
Address
Hochschulring 1
15745 Wildau
Deutschland
GERiT
This institution in GERiT
15745 Wildau
Projects
Research Grants
Completed projects
Atomic layer deposited dopant oxide films for doping of germanium and silicon-germanium substrates: Deposition – Flash Lamp Annealing – SIMS metrology
(Applicants
Burte, Edmund P.
;
Mai, Andreas
;
Rebohle, Lars
)
Atomic Layer Deposition of Germanium-Antimony-Telluride
(Applicants
Burte, Edmund P.
;
Edelmann, Frank T.
)
Atomlagenabscheidung von Germanium-Antimon-Tellurid
(Applicants
Burte, Edmund P.
;
Edelmann, Frank T.
)
Capacitive and ohmic microelectromechanical switches with bridges made of spring stell, especially for application in high frequency systems
(Applicants
Burte, Edmund P.
;
Omar, Abbas
)
Chemische Gasphasenabscheidung von super-harten Ruthenium-Diborid-Schichten
(Applicant
Burte, Edmund P.
)
Entwurf, Optimierung, CMOS-kompatible Herstellung und Charakterisierung von abstimmbaren planaren/koplanaren DGS-Filtern
(Applicants
Burte, Edmund P.
;
Omar, Abbas
)
Herstellung ultraflacher pn-Übergänge in Silizium durch Kurzzeit-Diffusion aus einer durch Atomic Layer Deposition abgeschiedenen Dotierstoffquelle
(Applicant
Burte, Edmund P.
)
Herstellung und Charakterisierung der ferroelektrischen Schichten Strontium-Bismut-Tantalat aus Ein- und Zweikomponenten-Precursoren
(Applicant
Burte, Edmund P.
)
Herstellung und Charakterisierung von silberhaltigen dünnen Germanium-Selen Schichten
(Applicant
Burte, Edmund P.
)
Kurzzeit-Gasphasendotierung von Silizium
(Applicant
Burte, Edmund P.
)
Metallorganische Gasphasenabscheidung von dünnen Germanium-Antimon-Tellurid-Schichten
(Applicant
Burte, Edmund P.
)
MOCVD von Strotium-Bismut-Tantalat / Bismut-Tantalat-Niobat - Schichten und ferroelektrische Speicherkondensatoren
(Applicant
Burte, Edmund P.
)
Ruthenium-Nanostäbe als Bodenelektrode für dreidimensional aufgebaute Kondensatoren
(Applicant
Burte, Edmund P.
)
Major Research Instrumentation
Completed projects
ATR-FTIR-Imaging
Mikro Thermischer Analysator
Oberflächenplasmonresonanz-Spektrometer (SPR)
Schwingquarz-Mikrowaage
Science Communication, Research Data, eResearch
Completed projects
Open Access Publishing 2018 - 2019 / TU Wildau
(Applicant
Ungvári, László
)
Subinstitutions
Fachbereich Ingenieur- und Naturwissenschaften (INW)
AG für Photonik, Laser- und Plasmatechnologien
Hochschulbibliothek
Additional Information
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