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Projekt
Mechanismen und Dynamik der lokalen Plasma-Jet Oberflächenbearbeitung
Antragsteller
Privatdozent Dr. Axel Schindler
Fachliche Zuordnung
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung
Förderung von 1999 bis 2005
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5466172
In den letzten Jahren fanden reaktive, nichtthermische Plasmen im atmosphärischen und subatmosphärischen Druckbereich zunehmend Anwendung in der Oberflächentechnologie. Hohe Materialabträge bei gleichzeitiger Erreichung schädigungsfreier oberflächennaher Bereiche sowie eine deutliche Kostenersparnis durch Wegfall aufwendiger Vakuumsysteme versprechen in der technologischen Anwen-dung dieser Plasmen viele Vorteile gegenüber herkömmlichen Niederdruckplasmaverfahren und mechanischen Oberflächenbearbeitungsmethoden. Bezüglich des Verständnisses der grundlegenden chemischen und physikalischen Prozesse im Plasmastrahl und bei der reaktiven Wechselwirkung zwischen Plasma und Oberfläche besteht noch ein erheblicher wissenschaftlicher Bedarf an detaillierten diagnostischen und kinetischen Grundlagenuntersuchungen. Sie sind unerlässlich für die gezielte Einflussnahme auf die Abtragsprozesse und ihre Optimierung.
DFG-Verfahren
Forschungsgruppen
Beteiligte Person
Privatdozent Dr. Hans-Erich Wagner
