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Steuerung von Ablagerungsort und Morphologie über kovalente und nicht-kovalente Wechselwirkungen (C01)
Fachliche Zuordnung
Festkörper- und Oberflächenchemie, Materialsynthese
Physikalische Chemie von Festkörpern und Oberflächen, Materialcharakterisierung
Physikalische Chemie von Festkörpern und Oberflächen, Materialcharakterisierung
Förderung
Förderung seit 2025
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 538767711
Projekt C1 zielt darauf ab, die Morphologie der Halbleiterabscheidung durch die Wechselwirkungen zu steuern, die während des sALD-Wachstums zwischen dem Substrat, der festen Schicht und der Flüssigkeit auftreten. Unter Verwendung von Informationen aus M1, M3, M4, M5 und dank selbstassemblierten molekularen Monoslagen aus F6 zur Einstellung der Dichte der Nukleationsstellen und Grenzflächenenergien werden Liganden und Lösungsmittel verwendet, um den Wachstumsmodus von homogen vertikal (Film) zu dreidimensional (halbkugelförmig) oder zweidimensional (planare Flocken) zu lenken. Einzelne Reaktionsschritte werden mit C5, C6, F5 identifiziert, die Struktur und Eigenschaften der Ablagerungen werden mit S1-S5 untersucht.
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche
Antragstellende Institution
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
Teilprojektleiter
Professor Dr. Julien Bachmann, Ph.D.
