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Institution

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Technische Universität Chemnitz
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien

Adresse Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz
Deutschland

GERiT Diese Institution in GERiT

09126 Chemnitz

Projekte

Sachbeihilfen
- laufende Projekte
  - Analoge integrierte Hochfrequenz-Schaltungen basierend auf Kohlenstoffnanoröhren Feld-Effekt Transistoren
    (Antragsteller Hermann, Sascha ; Schröter, Michael )
  - Entwicklung hin zu Online-Messungen eisnukleierender Partikel über einen breiten Temperatur- und Konzentrationsbereich: Mikrofluidischer Aufbau zur kontinuierlichen Eisnukleations-Analyse (MINION)
    (Antragstellerinnen / Antragsteller Grawe, Sarah ; Reuter, Danny )
  - MEMS-basiertes differentielles Schweregradiometer (MBDG)
    (Antragstellerinnen / Antragsteller Hiller, Karla ; Rothleitner, Christian )
  - Mobiles emissionsbasiertes Mikrospektrometer zur Analyse unbekannter gasförmiger Substanzen
    (Antragsteller Weiß, Alexander ; Zimmermann, Sven )
  - Nahfeldverstärkte Optomechanische Nanoresonatoren
    (Antragsteller Plettemeier, Dirk ; Reuter, Danny )
  - Spiking Neuronale Netze auf Basis unkonventioneller Nanobauteile zur Erkennung von akustischen Ereignissen
    (Antragsteller Schulz, Stefan E. )
  - Ultra-skalierte SiGeC-HBTs jenseits der existierenden Roadmap - eine Simulationsstudie
    (Antragsteller Schröter, Michael ; Schuster, Jörg )
  - Untersuchung eines neuartigen Konzeptes von CNT-basierten MEMS-Kondensatoren auf einer Membranplattform zur Bestimmung des Quellzustandes von smarten Hydrogelen (HydroMEMS)
    (Antragstellerinnen / Antragsteller Hermann, Sascha ; Körner, Julia )
  - Untersuchung intrinsischer Dämpfungseffekte und Ableitung von Regeln für ein robustes Design von Mikrosystemen bei hoher Güte
    (Antragsteller Mehner, Jan ; Reuter, Danny )
- abgeschlossene Projekte
  - Bestimmung und Optimierung des mechanischen Verhaltens von Schichtstapeln mit porösen low-k-Dielektrika
    (Antragsteller Geßner, Thomas )
  - Herstellung von definierten Ge:Mn-Hybridstrukturen durch Selbstorganisationsprozesse bei der gepulsten Laserausheilung
    (Antragsteller Bürger, Danilo )
  - Hochempfindliche Bewegungsdetektion auf Basis feldemittierender Kohlenstoffnanoröhren
    (Antragsteller Mehner, Jan ; Schulz, Stefan E. )
  - Kombination spektroskopischer Verfahren zur Erforschung grundlegender Mechanismen der Poren- und Netzwerkbildung in mesoporösen low-k Dielektrika
    (Antragsteller Schulz, Stefan E. ; Wagner, Andreas )
  - Kristallisationsmechanismen von CoFeB-basierten TMR-Schichtstapeln bei Laser-Annealing
    (Antragstellerinnen / Antragsteller Horn, Alexander ; Salvan, Georgeta ; Schulz, Stefan E. )
  - Mikromechanische kapazitive Wandler für berührungsfreie und phasengesteuerte Ultraschallprüfung
    (Antragstellerin Hiller, Karla )
  - NEMS/MEMS and Nanomaterial-enhanced Passive Components Compatible with Advanced Nano-CMOS for Future One-chip Tunable RF Systems
    (Antragsteller Geßner, Thomas )
  - Neuartige nanoskalige reaktive Materialsysteme als interne Wärmequelle für Fügeverfahren - nanoreaktiF
    (Antragstellerin Hiller, Karla )
  - Niederohmige Kontakte für Kohlenstoffnanoröhren-basierte Hochfrequenz Feld-Effekt Transistoren (NanoCon)
    (Antragsteller Hermann, Sascha ; Schröter, Michael )
  - Poröse Polymere als low-k Dielektrika für Metallisierungssysteme in der Mikroelektronik
    (Antragsteller Geßner, Thomas )
  - Rationales Design der selektiven thermischen Atomlagenätzprozesse durch Computerchemie
    (Antragsteller Hu, Ph.D., Xiao )
  - Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenwinkelverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen
    (Antragsteller Mussenbrock, Thomas ; Zimmermann, Sven )
Sonderforschungsbereiche
- abgeschlossene Projekte
  - Applikative Systemlösungen
    (Teilprojektleiter Bocklisch, Steffen F. ; Ebest, Gunter ; Geßner, Thomas ; Radehaus, Christian )
  - Neue Technologieplattform für die "Oberflächennahe Silizium-bulk-Mikromechanik"
    (Teilprojektleiter Geßner, Thomas )
  - Niedertemperaturbonden für rekonfigurierbare Resonatorarrays
    (Teilprojektleiterin Hiller, Karla )
  - Positioniersystem
    (Teilprojektleiter Dietzsch, Michael ; Dötzel, Wolfram ; Geßner, Thomas ; Manthey, Wolfgang )
  - SFB 379: Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays
    (Sprecher Geßner, Thomas )
Forschungsgroßgeräte
- abgeschlossene Projekte
Forschungsgruppen
- abgeschlossene Projekte
  - Aktorische und sensorische multifunktionale Nanomembranen
    (Antragsteller Otto, Thomas ; Schmidt, Oliver G. )
  - Hochminiaturisierte Ermüdungstestplattform zur thermo-mechanischen Charakterisierung und Zuverlässigkeitsbewertung von heterogen- und bottom-up- integrierten nano-funktionalen Komponenten.
    (Antragstellerinnen / Antragsteller Hiller, Karla ; Wunderle, Bernhard )
  - Integration von Kohlenstoffnanoröhren in Nanosysteme
    (Antragsteller Schulz, Stefan E. )
  - Modellierung von Nanodevices
    (Antragsteller Geßner, Thomas )
  - MOS-Detektion für Nanoresonatoren
    (Antragsteller Horstmann, John Thomas )
  - Von der Herstellung molekularer Schichten und deren magneto-optischen Untersuchung zu lateralen Bauelementen
    (Antragstellerin Salvan, Georgeta )
  - Zentralprojekt
    (Antragstellerin Hiller, Karla )
Schwerpunktprogramme
- laufende Projekte
  - Technologieplattform für nanomaterial-basierte PUF-Schaltungen mit hoher Entropie
    (Antragstellerinnen / Antragsteller Hermann, Sascha ; Katzenbeisser, Stefan ; Kavun, Elif Bilge )
Internationale Graduiertenkollegs
- abgeschlossene Projekte
  - GRK 1215: Materialien und Konzepte für fortschrittliche Metallisierungssysteme
    (Sprecher Geßner, Thomas )
Exzellenzcluster
- abgeschlossene Projekte
  - EXC 1075: Technologiefusion für multifunktionale Leichtbaustrukturen - MERGE
    (Sprecher Kroll, Lothar )

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