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Institution

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Technische Universität Ilmenau
Fakultät für Maschinenbau
Institut für Prozessmess- und Sensortechnik

Adresse Gustav-Kirchhoff-Straße 1
98693 Ilmenau
Deutschland

GERiT Diese Institution in GERiT

98693 Ilmenau

Projekte

Sachbeihilfen
- laufende Projekte
  - Dynamische und hochgenaue Sensor- und Toolpositionierung in großen Messvolumina mittels inversem Messkonzept - Erkenntnistransfer
    (Antragsteller Füßl, Roland ; Manske, Eberhard )
  - Genaue, präzise und SI-rückführbare Messungen der mechanischen Steifigkeit mikroelektromechanischer Systeme mit Kräften im Bereich von pN bis mN
    (Antragstellerin Cherkasova, Valeriya )
  - Interferometrische, direkte faseroptische Formmessung mit sechs Freiheitsgraden
    (Antragsteller Kissinger, Thomas )
  - Multiachs-Nanofabrikationsmaschine (MNFM)
    (Antragsteller Fröhlich, Thomas )
  - Photonenimpuls ermöglicht reproduzierbare und SI-rückführbare Messungen von Kleinkraft, -masse und Laserleistung
    (Antragsteller Vasilyan, Suren )
  - Präzisionsinterferometrie auf Basis hochstabiler Laserquellen bei 633 nm
    (Antragstellerin Blumröder, Ulrike )
  - Rückführbarer taktiler, aktiver, kraft- und momentmessender Koordinatenmesssystem-Messkopf
    (Antragsteller Fröhlich, Thomas ; Hausotte, Tino )
  - Scannende Interferenzlithographie auf räumlichen Strukturen
    (Antragsteller Haist, Tobias ; Manske, Eberhard ; Sawodny, Oliver )
  - Synthese nachgiebiger Mechanismen in der Kraftmess- und Wägetechnik für Präzisionsanwendungen
    (Antragstellerinnen / Antragsteller Fröhlich, Thomas ; Zentner, Lena )
- abgeschlossene Projekte
Schwerpunktprogramme
- laufende Projekte
  - Faseroptischer Kontaktfühler zur Bestimmung der Relativbewegung zwischen Drohne und Messobjekt zur Bewegungskorrektur eines Nahbereich-3D-Inspektionslidars
    (Antragsteller Kissinger, Thomas )
Sonderforschungsbereiche
- abgeschlossene Projekte
  - Integriertes Graduiertenkolleg
    (Teilprojektleiter Manske, Eberhard ; Theska, René )
  - Konstruktion, Aufbau und Erprobung der Maschine
    (Teilprojektleiter Jäger, Gerd ; Manske, Eberhard ; Theska, René )
  - Metrologie der NPM-Maschinen
    (Teilprojektleiter Füßl, Roland ; Manske, Eberhard )
  - Metrologische Verifikation
    (Teilprojektleiter Füßl, Roland ; Grünwald, Rainer )
  - Nanomesstechnik
    (Teilprojektleiter Hausotte, Tino ; Manske, Eberhard )
  - SFB 622: Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
    (Sprecher Manske, Eberhard )
  - Zentrale Aufgaben für den SFB
    (Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter Augustin, Silke ; Manske, Eberhard )
Forschungsgroßgeräte
- abgeschlossene Projekte
WBP Stipendium
- laufende Projekte
  - Realisierung und Weitergabe dynamischer Kräfte und abgeleiteter Größen mit Hilfe des Prinzips einer Kibble-Waage
    (Antragsteller Rogge, Norbert )
Graduiertenkollegs
- laufende Projekte
  - GRK 2182: Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation in ausgedehnten makroskopischen Arbeitsbereichen
    (Sprecher Manske, Eberhard ; Strehle, Steffen )
- abgeschlossene Projekte
  - GRK 1567: Elektromagnetische Strömungsmessung und Wirbelstromprüfung mittels Lorentzkraft
    (Sprecher Schumacher, Jörg )

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